Диффузия - ориентированное наращивание слоев, кристаллическая решетка которых повторяет структуру подложки:
Катодное распыление происходит в результате бомбардировки поверхности подложки сфокусированным потоком ионов:
Легирование - обусловленное тепловым движением перемещение частиц в направлении убывания их концентрации:
МДП-транзисторы имеют большие по сравнению с биополярными транзисторами размеры:
Осаждение пленок материалов из водных растворов применяют для получения сравнительно толстых проводящих пленок:
По функциональному назначению ИМС подразделяют на полупроводниковые и гибридные:
Травлением называют операцию удаления поверхностного слоя подложки:
Элемент ИМС - часть ИМС, которую нельзя отделить от схемы и рассматривать как самостоятельное изделие: